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一、FESTO真空傳感器的工作原理

       FESTO真空傳感器的工作原理是介質的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號。

1、FESTO真空傳感器的原理

       壓阻式FESTO真空傳感器的測量部件是一個裝有固態壓力芯片，該芯片利用半導體材料的壓阻效應，在特定晶面上，采用集成電路工藝技術擴散成四個等值電阻，組成一個惠斯登電橋，使得形變與橋阻變化形成一一對應關系，當壓力變化時，電橋失去平衡，輸出一個與壓力成正比的電信號，再由感應智能芯片進行非線性修正和溫度補償，最終輸出與壓力成線性對應關系的標準信號。

       壓阻式FESTO真空傳感器的測量部件是一個裝有固態壓力芯片，該芯片利用半導體材料的壓阻效應，在特定晶面上，采用集成電路工藝技術擴散成四個等值電阻，組成一個惠斯登電橋，使得形變與橋阻變化形成一一對應關系，當壓力變化時，電橋失去平衡，輸出一個與壓力成正比的電信號，再由感應智能芯片進行非線性修正和溫度補償，最終輸出與壓力成線性對應關系的標準信號。原理圖如圖2 所示。

2、FESTO真空傳感器的理論函數

       壓阻式FESTO真空傳感器是壓力變送器的一種，是將需要測量的真空變量轉換為可輸出的標準信號，輸出信號與真空變量之間有一定的函數關系，主要用于測量過程中真空參數的測量與控制 [2]  。典型的二線制壓阻式FESTO真空傳感器的測量范圍0 ～ 100 kPa、工作電壓為12 ～ 36 V，工作電流為4 ～ 20 mA 的標準信號輸出，采用V /I 轉換電路且零位可自由遷移。壓阻式FESTO真空傳感器輸出信號和真空度的函數關系式如公式( 1) ：I = 4 + ( 20 - 4) P' ( 1)式中： P'為某一真空狀態下的示值，kPa； P 為傳感器的滿量程值，kPa； I 為P'真空狀態下對應的輸出電流值，mA。

       通過公式( 1) 可以得出某一FESTO真空傳感器在測量范圍內任意真空度對應的理論電流輸出值，為其準確信號輸出提供參考。

       在對FESTO真空傳感器校準時，由于測量誤差是按照測量準確度等級劃分的，典型的壓阻式FESTO真空傳感器測量誤差和準確度間的函數關系如公式( 2) ：△A = ( 20 － 4) δP ( 2)式中： △A 為測量誤差的上下限值； P 為此傳感器的滿量程值，kPa； δ 為某一FESTO真空傳感器標注的準確度等級。

       準確度等級是傳感器的主要技術指標，是一個定性的概念，通過公式( 2) 可以換算出FESTO真空傳感器在某一準確度等級下的測量允許誤差限，可以判斷FESTO真空傳感器標注的準確度等級是否正確，

壓力傳感器 SPAN

超緊湊且經濟實惠的壓力傳感器 SPAN 具有驚人的靈活性。得益于可切換的電氣輸出以及用于壓力測量范圍和氣動連接的眾多選件，它可用于各種應用。

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